(서울=뉴스1) 신기림 기자 = 중국이 자체 개발한 심자외선(DUV) 노광장비 생산을 시작한 것으로 전해졌다. 미국의 대중 반도체 수출 규제 속에서도 핵심 반도체 장비 국산화에 진전을 보이면서 글로벌 장비업체 ASML 주가가 급락했다. 27일(현지시간) 정보기술(IT) 전문매체 디인포메이션에 따르면 중국이 자체 개발한 침지(Immersion) 방식 DUV 노광장비 생산에 착수했다. 보도에 따르면 이 장비는 올해 중국 최대 파운드리인 SMIC(중신궈지), 화훙반도체(Hua Hong Semiconductor), D램 업체 창신메모리테크놀로지(CXMT) 등 주요 반도체 기업에 공급될 예정이다. 장비를 개발한 국영 지원 기업의 이름은 공개되지 않았다. ASML은 관련 보도에 대해 논평을 거부했다. 이날 ASML 주가는 6% 가까이 하락하며 지난 6월 8일 이후 최대 낙폭을 기록했다. 반도체 장비업체들도 동반 약세를 나타냈다. BE세미컨덕터인더스트리(BESI)는 약 8.5% 급락했고 소이테크(Soitec)는 5%, 인피니언은 3% 가까이 하락했다. 미국의 어플라이드 머티어리얼즈와 램리서치도 각각 6.7%, 7.9% 하락 마감했다. 이번에 생산에 들어간 침지 DUV 노광장비는 실리콘 웨이퍼에 회로를 새기는 핵심 반도체 제조 장비라고 로이터는 설명했다. 미국의 수출 규제로 중국이 최첨단 극자외선(EUV) 노광장비를 확보하지 못하면서 중국 업체들이 사용할 수 있는 가장 높은 수준의 노광 기술로 평가된다. 오션파라다이스PC 다만 디인포메이션은 중국산 장비가 장기적으로는 중국 시장에서 ASML의 경쟁자가 될 가능성이 있지만 성능과 신뢰성은 아직 ASML 제품에 미치지 못하며, 대량 생산에 앞서 추가 검증이 필요하다고 전했다. 생산 규모도 초기에는 제한적이다. 올해 생산 목표는 약 5대이며, 2027년에도 약 20대 수준에 그칠 것으로 알려졌다. 중국은 DUV 장비와 함께 자체 EUV 노광장비도 개발 중이지만 아직 시제품 단계에 머물러 있다. 시장에서는 중국의 이번 성과가 미국이 반도체 장비 수출과 유지보수 규제를 추가로 강화하는 상황에서 중국 반도체 업체들의 장비 조달 위험을 일부 완화할 수 있을 것으로 보고 있다. 다만 최첨단 장비 분야에서는 ASML의 기술 우위가 당분간 유지될 것이라는 평가가 우세하다. ESI)는 약 8.